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	量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法
	梁平 ; 胡颖 ; 刘俊岐 ; 刘峰奇 ; 王利军 ; 张锦川
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体研究所
学科主题	半导体材料
公开日期	2012-10-17
申请日期	2012-06-21
专利申请号	CN201210211816.X
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25306]
专题	半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	梁平,胡颖,刘俊岐,等. 量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法.

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