| 题名 | 微结构热电偶微波功率计设计与制造 |
| 作者 | 张雨燕 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院电子学研究所 |
| 导师 | 崔大付 |
| 关键词 | 微波功率计 热电偶 微梁 IC工艺 |
| 学位专业 | 物理电子学 |
| 中文摘要 | 微电子机械系统（MEMS）近年来发展很快。其设计与制造和通常半导体技术有相似也有不同。本文利用微结构型微波功率传感器的设计和制造具体说明了这种差异。功率测量已成为电磁测量的重要部分。采用半导体技术和微梁结构的热电偶功率计克服了熔断功率低和频率范围窄的限制。在半导体热电偶中具有低电阻温度系数的Ta的高热电功率塞贝克系数的Si选作热偶材料。微波功率耗散在Ta上加热热结，使热结的温度高于冷结的温度，从而在热偶上产生一直流电压。热结和冷结间的温度差和直流电压正比于耗散的功率，如果热偶工作电阻与同轴传输系统电阻匹配适当，该功率等于被测源的功率。芯片利用MEMS技术研制。该器件灵敏度可达1.1mV/mW，测量功率范围从10μW到100mW，频率范围从直流到18GHz。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 55 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/8967]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张雨燕. 微结构热电偶微波功率计设计与制造[D]. 中国科学院电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2000. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论