一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造

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	一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造
	陶虎 ; 彭春荣 ; 陈贤祥 ; 白强 ; 陈绍凤 ; 夏善红
刊名	电子器件
	2006
卷号	29 期号:3 页码:639-642
关键词	电场传感器微加工技术压电陶瓷
ISSN号	1005-9490
公开日期	2010-05-19
内容类型	期刊论文
源URL	[http://159.226.65.12/handle/80137/2941]
专题	电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陶虎,彭春荣,陈贤祥,等. 一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造[J]. 电子器件,2006,29(3):639-642.
APA	陶虎,彭春荣,陈贤祥,白强,陈绍凤,&夏善红.(2006).一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造.电子器件,29(3),639-642.
MLA	陶虎,et al."一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造".电子器件 29.3(2006):639-642.