| 题名 | 用于生化分析的微光谱仪关键技术研究 |
| 作者 | 张科 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009-12-19 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理所 |
| 授予地点 | 长春光学精密机械与物理所 |
| 导师 | 宣明 |
| 关键词 | 微小型光谱仪 生化分析 像元分割 中性密度滤光片 |
| 其他题名 | Research on Key Technologies of Mini-spectrometer for Bio-chemical detection |
| 学位专业 | 机械制造及其自动化 |
| 中文摘要 | 集成化和微小型化是光谱仪器发展的重要的方向，但由此也带来一系列的问题，如灵敏度低、光谱范围以及测试范围窄等，这些给测试检验带来一定影响。 针对上述问题本文开展了用于生化分析的微小型光谱仪的关键技术研究： 以大像元的光电二极管阵列为探测器，采用微硅片多狭缝对像元进行分割的方法，用以提高测试灵敏度。分析了狭缝宽度与光谱带宽之间的关系，并采用MEMS工艺制造了体积小、精度高的微硅片狭缝。进行了吸光度线性实验，结果显示线性相关系数达到0.998，表明该光谱仪在保证高灵敏度的同时具有较高线性相关性。 本光谱仪主要用于生化分析，光源采用卤钨灯，由于卤钨灯各谱段能量差异较大，导致不同波长检测点测量的动态范围相差较大，为提高能量较弱部分的测试动态范围，采用在CCD接收窗口前安装透过率阶梯变化的中性密度滤光片来调整光强，并根据需要设计制作了符合要求的滤光片。实验表明该方法能够明显提高能量较弱谱段的吸光度测试范围。 文中还对杂散光的消除及紫外探测的问题进行了讨论。对杂散光影响进行了补偿，采用象元能量叠加的方法改善紫外探测部分的性能，基本实现了微小型光谱仪的高灵敏度、宽光谱范围及大动态范围测量的目的。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 68 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/1125]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张科. 用于生化分析的微光谱仪关键技术研究[D]. 长春光学精密机械与物理所. 中国科学院长春光学精密机械与物理所. 2009. |
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