采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮

	采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮
	周波 1; 吴有智 3; 苏博 2; 孟军虎 2; 韩杰胜 2; 张兴凯 2
刊名	中国科学:技术科学
	2018
卷号	49 期号:2019年02期页码:182-188
关键词	微电铸软刻蚀微结构微齿轮 PDMS
ISSN号	ISSN：1674-7259
英文摘要	以Φ3.60 mm×0.18 mm的微齿轮作为模板,先用软刻蚀技术制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模具,通过将PDMS模具黏附在石墨基片上与在PDMS模具表面喷金制备成两种不同的芯模,再采用微电铸技术成形镍微齿轮.通过对在两种不同芯模上制备的镍微齿轮的结构完整性、铸层的生长方式和物相组成进行对比,分析芯模对微电铸成形的影响.结果表明:表面喷金的PDMS芯模可以精确复制微齿轮模板的微结构.相比于在喷金的PDMS芯模上微齿轮的逐层生长,在石墨基片上微齿轮是以外延的方式生长,在微齿轮中易产生裂纹等缺陷.两种芯模上制备的镍微齿轮晶粒尺寸基本相同,但相比于将PDMS模具黏附在石墨基片上制成的芯模,在喷金的PDMS芯模上成形的镍微齿轮(200)晶面择优取向增强,(111)晶面择优取向减弱,且残余应力更小.
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WOS研究方向	Engineering
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6465386
状态	已发表
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/1295]
专题	材料科学与工程学院
作者单位	1.兰州理工大学材料科学与工程学院;;中国科学院兰州化学物理研究所, ;;固体润滑国家重点实验室, 兰州;;兰州, ;; 730050;;730000 2.中国科学院兰州化学物理研究所, 固体润滑国家重点实验室, 兰州, 甘肃 730000, 中国 3.兰州理工大学材料科学与工程学院, 兰州, 甘肃 730050, 中国
推荐引用方式 GB/T 7714	周波,吴有智,苏博,等. 采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮[J]. 中国科学:技术科学,2018,49(2019年02期):182-188.
APA	周波,吴有智,苏博,孟军虎,韩杰胜,&张兴凯.(2018).采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮.中国科学:技术科学,49(2019年02期),182-188.
MLA	周波,et al."采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮".中国科学:技术科学 49.2019年02期(2018):182-188.