QQ客服 官方微博 反馈留言

题名	激光刻蚀聚酰亚胺基底金属薄膜的温度场研究
作者	张宏伟
答辩日期	2016
导师	路文江 ; 汤富领
关键词	天线反射器 激光刻蚀 金属薄膜/聚酰亚胺 温度场 刻蚀深度
学位名称	硕士
英文摘要	为了提高卫星的通讯能力和满足轻质化的需求,目前常在卫星上装有一类轻质天线反射器,这类天线反射器是在聚合物基底上镀制金属薄膜(或者按照一定规律排布、具备特定表面功能的高精度金属薄膜图案)。为了实现对这类材料组合进行金属薄膜的高精度加工,并且还能够使得聚合物基底不受到损伤的目的,常采用镀膜结合激光刻蚀技术的方法进行制备。但由于聚合物和金属材料在热物理性能方面存在很大的差异,因此在实际的激光刻蚀过程中,还需要对很多技术问题开展仔细的研究。本文以广泛应用于天线反射器的金属薄膜/聚酰亚胺组合为研究对象,从热传导理论出发,利用多物理场耦合分析软件COMSOL Multiphysics构建了高斯分布的脉冲激光辐照复合材料的二维非稳态物理模型,通过求解热传导方程计算了激光辐照金属薄膜/聚酰亚胺组合的温度场分布,并讨论了激光参数对刻蚀过程的影响,主要取得了以下成果:(1)在激光刻蚀过程中铜薄膜比铝薄膜更难刻蚀,且激光功率密度为刻蚀深度的主要影响因素。随着金属薄膜厚度的增加,激光的刻蚀深度先减小,后保持不变;(2)在多脉冲刻蚀过程中,激光刻蚀深度随脉冲个数(小于等于10)的增加呈线性增加,刻蚀半径增加幅度不大,刻蚀形貌逐渐成喇叭形。由于刻蚀过程中聚酰亚胺有热的累积,因此为了保护基底,在刻蚀过程中应采用较大功率密度的激光参数;(3)对于多层金属薄膜,由于金属夹层的热导率比聚酰亚胺的热导率要大,因此会使得上层金属薄膜的刻蚀深度增加,同时刻蚀半径减小。我们通过运用计算机模拟的方法,得到的计算结果能够为激光刻蚀金属薄膜/聚酰亚胺组合的实际过程提供一定的指导作用。
语种	中文
页码	59
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/91456]
专题	兰州理工大学
作者单位	兰州理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张宏伟. 激光刻蚀聚酰亚胺基底金属薄膜的温度场研究[D]. 2016.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。