角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率

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	角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率
	严洁; 王博
刊名	材料科学与工程学报
	2007
卷号	25 期号:3 页码:349-352
关键词	材料检测与分析技术薄膜厚度覆盖率 ARXPS 金膜 measuring and analysis for materials thin-film thickness coverage rate gold film
ISSN号	1673-2812
通讯作者	白明武
中文摘要	极薄薄膜的覆盖率有时难以用常规方法定量表征。本文提出了一套以单层薄膜的角分辨X射线光电子能谱(ARXPS)模型测定极薄薄膜的厚度h, 以恰好不再能检测到基底信号的光电子出射角(TOA)为最小基底信号起飞角θmin, 以最大裸露线宽L= h/tgθmin为直径的圆形裸露区模型估算薄膜覆盖率的新方法。将该方法应用于热蒸镀法在羟基化硅基底上制备的极薄的岛状金膜,当TOA > 17.5°时Au 4f 的峰强变化与单层膜的ARXPS 模型吻合得很好;当TOA < 7.5°时不再能检出基底信号; 测得金膜的厚度为16.0 ±0.4Ǻ, 金膜覆盖率为～92 %。
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金委创新群体研究基金资助项目(50421502);中国科学院“百人计划”资助项目
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2881792
公开日期	2013-11-01
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/4119]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	严洁,王博. 角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率[J]. 材料科学与工程学报,2007,25(3):349-352.
APA	严洁,&王博.(2007).角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率.材料科学与工程学报,25(3),349-352.
MLA	严洁,et al."角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率".材料科学与工程学报 25.3(2007):349-352.