夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)

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	夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)
	王晶 ; 王孝坤 ; 胡海翔 ; 李凌众 ; 苏航
刊名	红外与激光工程
	2021
卷号	50 期号:10 页码:67-73
英文摘要	随着先进光学系统设计与制造的发展,大口径光学系统得到了广泛的应用。然而,大口径平面镜高精度面形的检测手段不足,限制了大口径平面镜的制造与应用。为实现大口径平面反射镜的高精度面形检测,提出一种夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜面形的方法。对扫描拼接原理、波前重构算法进行了研究,建立了微透镜阵列成像的数学模型,验证了夏克哈特曼扫描拼接检测原理的可行性。针对一口径为150 mm的平面镜进行了扫描拼接检测实验,拼接得到的全口径面形为0.019λRMS(λ=635 nm);与干涉检测结果对比,检测精度为0.008λRMS,结果表明该方法能够实现大口径平面反射镜的高精度检测。
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内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66113]
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院大学 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王晶,王孝坤,胡海翔,等. 夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)[J]. 红外与激光工程,2021,50(10):67-73.
APA	王晶,王孝坤,胡海翔,李凌众,&苏航.(2021).夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀).红外与激光工程,50(10),67-73.
MLA	王晶,et al."夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)".红外与激光工程 50.10(2021):67-73.