基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究

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	基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究
	左恒; 张茜; 张勇
刊名	光学学报
	2021-06
卷号	41 期号:12 页码:117-124
关键词	光学器件边缘传感器图像处理拼接镜面子镜共相
英文摘要	拼接镜面共相技术是大口径望远镜研制中的关键技术之一,共相精度主要取决于边缘传感器的测量精度。针对大口径拼接镜面望远镜的共相需求,提出一种基于光学等厚干涉原理的边缘传感器设计方案,阐述其基本原理并给出该边缘传感器的结构图。利用数据拟合和图像处理方法,对该方案进行仿真模拟,仿真结果显示该方案的测量精度可以达到倾斜误差为0.02″,平移误差为20 nm,可以满足大口径拼接镜面望远镜的共相检测需求。
学科主题	天文技术与方法
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1935]
专题	南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_期刊论文
作者单位	南京天文光学技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	左恒,张茜,张勇. 基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究[J]. 光学学报,2021,41(12):117-124.
APA	左恒,张茜,&张勇.(2021).基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究.光学学报,41(12),117-124.
MLA	左恒,et al."基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究".光学学报 41.12(2021):117-124.