| 基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测装置及方法 | |
| 夏仁波; 赵吉宾; 张涛; 于彦凤; 张天宇 | |
| 2021-12-07 | |
| 著作权人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明涉及基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测装置及方法。该装置包括参考臂、耦合器、宽带光源、数据采集与处理模块、测量臂配合连接而成。参考臂由准直镜、平面反射镜、运动导轨组成；数据采集与处理模块由计算机、数据采集卡、光电探测器组成；测量臂由光纤滑环、螺旋进给装置、探头、待测小径管组成。宽带光源发出的光经耦合器变为两路分别经过参考臂与测量臂，并通过反射再次经过耦合器后被数据采集与处理模块检测，得到待测小径管内腔的形貌。本发明还提供了基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测方法。与现有技术相比，本发明具有测量精度高、抗干扰能力强的特点。 |
| 申请日期 | 2021-09-27 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 实审 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/30197]  |
| 专题 | 工艺装备与智能机器人研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏仁波,赵吉宾,张涛,等. 基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测装置及方法. 2021-12-07. |
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