基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法
刘连庆; 施佳林; 于鹏
2020-02-07
著作权人中国科学院沈阳自动化研究所
国家中国
文献子类发明授权
产权排序1
其他题名Peak force tapping and torsional resonance combination method based on atomic force microscope technology
英文摘要本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征,利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用,在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷,也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。
公开日期2021-04-13
申请日期2019-11-18
语种中文
状态有权, 著录变更
内容类型专利
源URL[http://ir.sia.cn/handle/173321/28845]  
专题沈阳自动化研究所_机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘连庆,施佳林,于鹏. 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法. 2020-02-07.
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