离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正

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	离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正
	厉宏兰 1,2,3; 袁吕军 2,3; 徐节速 1,2,3; 李倩 1,2,3; 康燕 2,3
刊名	应用光学
	2019-07
卷号	40 期号:4 页码:638-644
关键词	畸变校正非线性光学光线追迹离轴非球面零位补偿检验
英文摘要	在大口径、快焦比非球面的补偿检验中，入射光线在短距离内发生大角度急剧折转，导致干涉仪面形检验结果图像产生非线性畸变，严重影响了数控小磨盘抛光的位置精度和误差去除效率。为了校正离轴非球面在补偿检验中产生的图像畸变，提出了一种校正非线性畸变图像的方法，通过同心环带法确定畸变中心位置并利用光线追迹建立被检镜到干涉图的映射关系。针对某一光学系统的５２０ｍｍ×２５０ｍｍ的离轴抛物面主镜进行了畸变图像的校正，校正结果面形与工件面形的位置偏差降到１ｍｍ以下，满足小磨盘抛光的工作要求。
学科主题	天文技术与方法
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1651]
专题	南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_期刊论文
作者单位	1.中国科学院大学 2.天文光学技术重点实验室 3.南京天文光学技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	厉宏兰,袁吕军,徐节速,等. 离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正[J]. 应用光学,2019,40(4):638-644.
APA	厉宏兰,袁吕军,徐节速,李倩,&康燕.(2019).离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正.应用光学,40(4),638-644.
MLA	厉宏兰,et al."离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正".应用光学 40.4(2019):638-644.