| 一种长程面形测量仪 | |
| 彭川黔; 何玉梅; 王劼 | |
| 2016-10-12 | |
| 著作权人 | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 专利号 | CN205642307U |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型提供一种长程面形测量仪，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括扫描光学头和f‑θ角度检测系统，所述扫描光学头包括面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜，所述面光源水平放置，所述分束镜倾斜地设置在所述面光源下方，所述单孔屏紧贴在所述分束镜底面，所述平面反射镜倾斜地设置在所述单孔屏下方并与所述分束镜构成类五棱镜结构的双反射面。本实用新型减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差，从而提高了测量精度。 |
| 公开日期 | 2016-10-12 |
| 申请日期 | 2016-02-24 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33669]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭川黔,何玉梅,王劼. 一种长程面形测量仪. CN205642307U. 2016-10-12. |
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