| 一种二维长程面形检测装置及检测方法 | |
| 罗红心; 张翼飞; 樊亦辰; 金利民; 李中亮; 王劼 | |
| 2017-06-13 | |
| 著作权人 | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 专利号 | CN106840030A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种二维长程面形检测装置，包括单色光光源、二维阵列结构π位相板、分光棱镜、导轨、装设于导轨上的五角棱镜、透镜、直角棱镜模块以及面阵探测器；所述单色光光源设置为出射一光束，该光束穿过所述二维阵列结构π位相板入射到所述分光棱镜，经所述分光棱镜分光后入射到所述五角棱镜，经所述五角棱镜折射后入射到所述待测镜面，而后经所述待测镜面反射回所述五角棱镜，再次经所述五角棱镜折射后依次穿过所述分光棱镜、所述透镜和所述直角棱镜模块到达所述面阵探测器，并在所述面阵探测器上形成测量光斑。本发明通过导轨运动扫描得到光学元件表面的二维信息，实现大尺度光学元件表面质量检测和高精度压弯机构检测。 |
| 公开日期 | 2017-06-13 |
| 申请日期 | 2017-03-29 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33574]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗红心,张翼飞,樊亦辰,等. 一种二维长程面形检测装置及检测方法. CN106840030A. 2017-06-13. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论