一种实体sagnac干涉仪的胶合方法 | |
李思远; 刘欢; 赵强; 李立波; 白清兰; 邹纯博; 武俊强 | |
2021-05-18 | |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
专利号 | CN202010106805.X |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 为解决现有的实体sagnac干涉仪胶合方法,当胶合过程中较大胶合应力引起干涉仪反射面变形时,无法对干涉仪组件进行二次修复,造成干涉仪调制度降低,以及胶合过程装调复杂的技术问题,本发明提出了一种实体sagnac干涉仪的胶合方法,通过调整干涉仪工作面的镀膜次序,最后冷镀内反射膜,能够去除胶合过程对内反射膜的影响;采用二次固化,一次固化后可再进行剪切量及正交性调整;二次镀膜期间保持40℃左右的温度能够对干涉仪棱镜起到退火作用,消除部分胶合应力;通过在胶合过程中严格监控反射面垂直度,减少构成干涉仪的两个半五角棱镜的旋转及倾斜,尽可能减小胶合过程带来的胶合应力,实现实体sagnac干涉仪的去应力装调。 |
公开日期 | 2021-05-18 |
申请日期 | 2020-02-20 |
语种 | 中文 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95155] |
专题 | 西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李思远,刘欢,赵强,等. 一种实体sagnac干涉仪的胶合方法. CN202010106805.X. 2021-05-18. |
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