| 一种干涉显微镜 | |
| 杜凯; 李俊; 王金玉; 尹韶云; 熊亮; 邹钱生; 王浩 | |
| 2021-02-09 | |
| 著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 专利号 | 2020208521633 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型提供一种干涉显微镜，包括光源发生装置、补偿干涉腔，探测臂、信号采集与处理单元；所述补偿干涉腔接收所述光源发生装置产生的光束并进行反射后成为反射光束进入所述探测臂；所述探测臂对所述反射光束进行聚焦形成样品光，并将所述样品光发送给所述信号采集与处理单元；其中，所述探测臂设有第二显微物镜，所述第二显微物镜用于将光聚焦于样品上并将所述样品的结构信息调制成光线返回。该干涉显微镜，通过在补偿干涉腔中插入第一显微物镜，使参考光与样品光均经过完全相同的显微物镜只是顺序不一样，保证样品光和参考光的光程完全相等，避免了因经过光学器件的不一致导致的干涉面上有些点不等光程。 |
| 分类号 | G01n21/45(2006.01)i ; g01n21/01(2006.01)i |
| 申请日期 | 2020-05-20 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 已授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/12427]  |
| 专题 | 集成光电技术研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜凯,李俊,王金玉,等. 一种干涉显微镜. 2020208521633. 2021-02-09. |
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