| 一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 | |
| 刘鲁生、姜辛、黄楠 | |
| 2019-10-22 | |
| 著作权人 | 刘鲁生、姜辛、黄楠 |
| 专利号 | 201822033983.5 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/158456]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘鲁生、姜辛、黄楠. 一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置. 201822033983.5. 2019-10-22. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论