高衍射效率连续面形分束器的设计与制备

doi:10.3788/gzxb20194807.0722002

CORC > 光电技术研究所 > 中国科学院光电技术研究所 > 微电子装备总体研究室（四室）

	高衍射效率连续面形分束器的设计与制备
	刘文静[1,2,3]; 庞辉[1]; 曹阿秀[1]; 吴育娟[1]; 史立芳[1]; 付永启[2]; 邓启凌[1]
刊名	光子学报
	2019-07-01
卷号	48 期号:7 页码:9-16
关键词	[825352]衍射二元光学 Gerchberg-Saxton算法移动掩模技术 [825497]衍射光学元件分束器
ISSN号	1004-4213
DOI	10.3788/gzxb20194807.0722002
文献子类	期刊论文
英文摘要	为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上,对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位,再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分,保持这两部分的相位不变,信号区内振幅乘上一个随迭代次数不断变化的因子,噪音区内振幅保持不变.通过该方法设计9×9连续面形的分束器件,并与传统GS算法设计的分束器进行了对比,结果表明:GS算法设计得到的分束器相位存在严重的突变和不连续等问题,而本文方法设计得到的分束器相位连续平滑,可利用移动掩模技术加工.最终制备出1×3和1×9分束器,其实测的衍射效率分别为83.5%和89.4%,均匀性误差分别为3.56%和15.23%.
语种	中文
出版者	Chinese Optical Society
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9849]
专题	光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室）
作者单位	1.中国科学院大学,北京100049 2.中国科学院光电技术研究所,成都610209 3.电子科技大学物理学院,成都611731
推荐引用方式 GB/T 7714	刘文静[1,2,3],庞辉[1],曹阿秀[1],等. 高衍射效率连续面形分束器的设计与制备[J]. 光子学报,2019,48(7):9-16.
APA	刘文静[1,2,3].,庞辉[1].,曹阿秀[1].,吴育娟[1].,史立芳[1].,...&邓启凌[1].(2019).高衍射效率连续面形分束器的设计与制备.光子学报,48(7),9-16.
MLA	刘文静[1,2,3],et al."高衍射效率连续面形分束器的设计与制备".光子学报 48.7(2019):9-16.