基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法

doi:10.11884/HPLPB202032.190444

CORC > 光电技术研究所 > 中国科学院光电技术研究所 > 光电工程总体研究室（一室）

	基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法
	张文学 ; 王继红 ; 任戈
刊名	强激光与粒子束
	2020-04-23
卷号	32 期号:5 页码:5-11
关键词	在线检测相机阵列数字重聚焦光学组件
ISSN号	1001-4322
DOI	10.11884/HPLPB202032.190444
文献子类	期刊论文
英文摘要	利用调焦方式可以实现焦距的连续变化从而对不同物距下的光学组件进行在线检测,但是调焦过程操作复杂且对调焦位移精度要求较高,景深内光学元件缺陷无法区分,难以实现真正意义上的在线检测。因此,本文提出了基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法。首先建立了相机阵列的成像模型并给出了数字重聚焦表达式以及空间分辨率的表达式。接着利用MATLAB模拟相机阵列成像过程和数字重聚焦过程。最后进行实验验证,通过二维位移台带动相机对不同物距下的多个光学元件表面缺陷进行成像获得阵列相机图像,通过数字重聚焦算法得到不同物距下的光学元件表面缺陷分布信息。实验结果表明,基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测技术能够同时对位于景深范围内的光学组件进行在线检测。该方法在光学元件缺陷在线检测方面有着一定的应用价值。
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语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9980]
专题	光电技术研究所_光电工程总体研究室（一室）
作者单位	1.中国科学院大学 2.中国科学院光束控制重点实验室 3.中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张文学,王继红,任戈. 基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法[J]. 强激光与粒子束,2020,32(5):5-11.
APA	张文学,王继红,&任戈.(2020).基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法.强激光与粒子束,32(5),5-11.
MLA	张文学,et al."基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法".强激光与粒子束 32.5(2020):5-11.