| 一种脊波导电极开窗的方法 | |
| 曲迪; 白国人; 陈墨; 靳春艳; 宋学颍 | |
| 2018-11-20 | |
| 著作权人 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
| 专利号 | CN108847574A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种脊波导电极开窗的方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种脊波导电极开窗的方法，包括：步骤：S1、对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构及脊波导结构两侧的结构；S2、在脊波导结构及脊波导结构两侧结构的上表面生成电解质绝缘层；S3、在电解质绝缘层上涂覆下光刻胶，该下光刻胶的上表面高出脊波导结构的上表面；S4、在下光刻胶的上表面沉积金属介质层；S5、在金属介质层的上表面旋涂上光刻胶，利用掩膜版对脊波导结构上方的上光刻胶进行曝光和显影；S6、去除脊波导结构上方的金属介质层；S7、干法刻蚀去除上光刻胶和下光刻胶层；S8、去除脊波导结构上方的电解质绝缘层；S9、通过lift‑off工艺，去除电解质绝缘层上方的下光刻胶及金属介质层。 |
| 公开日期 | 2018-11-20 |
| 申请日期 | 2018-06-26 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92276]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲迪,白国人,陈墨,等. 一种脊波导电极开窗的方法. CN108847574A. 2018-11-20. |
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