宽光谱晶闸管激光器的制备方法
王嘉琪; 刘震; 于红艳; 周旭亮; 李召松; 王圩; 潘教青
2017-08-18
著作权人中国科学院半导体研究所
专利号CN107069427A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名宽光谱晶闸管激光器的制备方法
英文摘要本发明公开了一种宽光谱晶闸管激光器的制备方法,涉及半导体器件制备技术领域。本发明公开的制备方法包括:在衬底上制备半导体外延层结构,在半导体外延层结构上形成脊条结构,在脊条结构上制备电极得到所述的宽光谱晶闸管激光器。其中,通过结合传统激光器的PiN结构和传统晶闸管的PNPN结构,引入上N型区,完成具备高输出功率,且有高稳定性和可控性的PNPiN结构宽光谱晶闸管激光器的制备。制备工艺简单可控,成本低廉,易于实现批量生产。
公开日期2017-08-18
申请日期2017-01-24
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90574]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王嘉琪,刘震,于红艳,等. 宽光谱晶闸管激光器的制备方法. CN107069427A. 2017-08-18.
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