| 具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導 | |
| 麥克多納德 馬克 | |
| 2007-03-16 | |
| 著作权人 | 英特爾公司 |
| 专利号 | TW200711240A |
| 国家 | 中国台湾 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導 |
| 英文摘要 | 本發明係揭露包括一穿過各段的波導之積集結構,其中波導進一步包括一波導中面鏡、一波束分離器或一抗反射元件。波導中面鏡、波束分離器或抗反射元件係利用經過波導之一或多個經聚焦離子波束(FIB)切割或開縫所形成。用於面鏡、波束分離器及抗反射元件之切割或開縫皆具有高的尺寸比。面鏡係包括一個延伸過核心而垂直於核心的一軸線之開縫;波束分離器係包括相對於核心的一軸線以一角度延伸過核心之單一開縫;而抗反射元件係包括延伸過核心而垂直於核心的一軸線之一對隔開的開縫。 |
| 公开日期 | 2007-03-16 |
| 申请日期 | 2006-06-30 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90294]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 英特爾公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 麥克多納德 馬克. 具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導. TW200711240A. 2007-03-16. |
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