车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法

	车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法
	王灏 2; 董连和 2; 朱国栋1 ; 张东 1; 张为国1
刊名	光电工程
	2018
卷号	45 期号:4 页码:170671
ISSN号	1003-501X
英文摘要	为解决石英非球面微透镜阵列加工所面临的工艺可控性差且面型精度不高这两大难点,提出了一种基于车削掩模刻蚀的石英玻璃元件制作方法。该方法主要使用了单点金刚石车削加工技术与反应离子刻蚀技术,研究了掩模材料车削及刻蚀性能,并利用实验优选出掩模材料,最后进行了面积为5 mm×5 mm石英玻璃非球面微透镜阵列的制备。通过实验结果与预期参数进行对比,分析表明,该方法制作的石英玻璃元件误差均方根为1.155 nm,面型精度误差0.47%。
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/9037]
专题	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
作者单位	1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2.长春理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王灏,董连和,朱国栋,等. 车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法[J]. 光电工程,2018,45(4):170671.
APA	王灏,董连和,朱国栋,张东,&张为国.(2018).车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法.光电工程,45(4),170671.
MLA	王灏,et al."车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法".光电工程 45.4(2018):170671.