AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性

	AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性
	李豪 ; 耿永友 ; 吴谊群
刊名	无机材料学报
	2012
卷号	27 期号:6 页码:620-626
关键词	AgInSbTe
通讯作者	吴谊群
收录类别	SCI
公开日期	2013-09-09
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11043]
专题	上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	李豪,耿永友,吴谊群. AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性[J]. 无机材料学报,2012,27(6):620-626.
APA	李豪,耿永友,&吴谊群.(2012).AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性.无机材料学报,27(6),620-626.
MLA	李豪,et al."AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性".无机材料学报 27.6(2012):620-626.