| 一种VCSEL芯片及制作方法 | |
| 贾钊; 赵炆兼; 马祥柱; 张国庆; 陈凯轩 | |
| 2018-11-30 | |
| 著作权人 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 专利号 | CN108923253A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种VCSEL芯片及制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种VCSEL芯片及制作方法，该制作方法包括：提供一衬底，衬底划分为中间区域和包围中间区域的边缘区域；在中间区域上生长覆盖中间区域的结构层；生长氧化层，氧化层覆盖边缘区域以及覆盖结构层的侧壁和背离衬底一侧的表面；在氧化层背离结构层的一侧生长第一保护层，第一保护层部分覆盖中间区域，在氧化层背离衬底的一侧生长第二保护层，第二保护层部分覆盖边缘区域；对氧化层进行氧化处理；去除第一保护层，并在氧化层背离结构层的一侧生长P型布拉格反射镜层；去除第二保护层，并制作电极结构。该制作方法降低了工艺难度，在氧化处理阶段对氧化层进行氧化处理后再生长额外的外延层结构，其氧化均匀性很容易得以控制。 |
| 公开日期 | 2018-11-30 |
| 申请日期 | 2018-07-05 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57177]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾钊,赵炆兼,马祥柱,等. 一种VCSEL芯片及制作方法. CN108923253A. 2018-11-30. |
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