| 外延集成高对比度光栅外腔面发射激光器 | |
| 解意洋; 徐晨; 王秋华; 潘冠中; 董毅博; 安亚宁; 吴俊 | |
| 2018-03-06 | |
| 著作权人 | 北京工业大学 |
| 专利号 | CN107768979A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 外延集成高对比度光栅外腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了外延集成高对比度光栅外腔面发射激光器，普通的氧化型垂直腔面发射激光器，普通的氧化型垂直腔面发射激光器，由于其自身氧化限制层材料的各向异性及有源区材料增益的各向异性等特点，导致其出现偏振不确定或不稳定现象，对于传统的外腔压窄线宽方法通常过于复杂，集成度低，不利于芯片级的设计。本发明中我们采用生长相位匹配层、腔长匹配层的方法延长垂直腔面发射激光器的腔长，通过一次外延的方式形成低折射率介质层作为光栅支撑层和光栅介质层；再通过刻蚀光栅介质层形成光栅微结构，达到控制光偏振的同时压窄线宽。 |
| 公开日期 | 2018-03-06 |
| 申请日期 | 2017-10-17 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56667]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 解意洋,徐晨,王秋华,等. 外延集成高对比度光栅外腔面发射激光器. CN107768979A. 2018-03-06. |
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