| 受激准分子激光器和谱线紧缩模块 | |
| 金壮鲜 | |
| 2007-07-25 | |
| 著作权人 | 三星电子株式会社 |
| 专利号 | CN101004530A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 受激准分子激光器和谱线紧缩模块 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种能够使半导体制造的生产良率增大并最大化的受激准分子激光器和谱线紧缩模块。谱线紧缩模块利用了扩束器，由受激准分子激光器的发生器产生并入射的激光穿过扩束器，且扩束器将激光准直在一个方向上。衍射光栅接收准直的激光，衍射激光，并根据激光的相关波长将激光的行进方向分开。多波长反射器位于衍射光栅和扩束器之间的一侧的反射位置，以通过扩束器使具有多波长的激光再次进入发生器中。多波长反射器将行进方向被衍射光栅分开的激光中由多个波长组成的激光反射到扩束器上。 |
| 公开日期 | 2007-07-25 |
| 申请日期 | 2007-01-19 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56397]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三星电子株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金壮鲜. 受激准分子激光器和谱线紧缩模块. CN101004530A. 2007-07-25. |
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