| VCSEL阵列芯片及其制作方法 | |
| 郭冠军; 贾钊; 赵炆兼; 曹广亮 | |
| 2019-05-21 | |
| 著作权人 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 专利号 | CN109787086A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | VCSEL阵列芯片及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种VCSEL阵列芯片及其制作方法，涉及VCSEL阵列芯片技术领域，包括台柱、N‑DBR层、砷化镓衬底及N面电极；N‑DBR层及N面电极分别设置在砷化镓衬底的两侧，台柱设置在N‑DBR层上；台柱为中空的圆柱形结构，台柱的中央为金属孔；相邻台柱之间相交且相邻台柱的金属孔不相交；本发明提供的VCSEL阵列芯片中相邻台柱之间相交且相邻台柱的金属孔不相交，在同样面积芯片内制作更多的台柱时，与现有技术中的台柱相比，台柱的直径较长，使得台柱上的电极的接触面积增加，电极的欧姆接触电阻减小，欧姆接触电压降低，进而降低了欧姆接触电阻的热功率，增加了阵列芯片的光输出功率，提高了光电转换效率。 |
| 公开日期 | 2019-05-21 |
| 申请日期 | 2019-01-23 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55246]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 扬州乾照光电有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭冠军,贾钊,赵炆兼,等. VCSEL阵列芯片及其制作方法. CN109787086A. 2019-05-21. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论