| 一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法 | |
| 姚一村; 张丽强; 德特列夫·基普; 克里斯汀·埃尔文·豪恩霍斯特; 塞吉·索恩索夫; 多米内克·布鲁斯克; 伊娃·法茨格拉夫 | |
| 2019-05-14 | |
| 著作权人 | 聊城大学 |
| 专利号 | CN109755849A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种新型“面发射”型波导激光谐振腔的设计和制备方案，属于集成光子学器件制备技术领域。在晶体片的侧面制备三条波导，其中两条较短的波导垂直于晶体大面，另一条较长的波导作为主谐振腔，并与前两条波导垂直。三条波导相连构成类“之”字形。利用精密金刚石刀切割的方法，在波导连接处分别切割形成两个沟槽作为全反射镜。其特点及优势主要包括：实现了类似半导体VCSEL激光器的面发射特性，有利于波导激光的后续封装；2.使波导激光器结构更为紧凑，降低了光路校对的难度，提高了系统稳定性；3.适用于各类全晶体波导激光器，易于推广。 |
| 公开日期 | 2019-05-14 |
| 申请日期 | 2019-02-14 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55234]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 聊城大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚一村,张丽强,德特列夫·基普,等. 一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法. CN109755849A. 2019-05-14. |
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