一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法 | |
王新强; 王钇心; 刘双龙; 荣新; 王平; 秦志新; 童玉珍; 许福军; 沈波 | |
2019-05-14 | |
著作权人 | 北京大学 |
专利号 | CN105846310B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区,势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金,可以提高载流子局域化,抑制非辐射复合过程,进而提高内量子效率;利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜,形成具有凹面的网格状反射层,可增强紫外光的反射,提高光提取效率;电子束泵浦源采用场发射电子束,场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化;同时,电子束泵浦源均配有金属栅极,更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。 |
公开日期 | 2019-05-14 |
申请日期 | 2016-04-20 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49386] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 北京大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王新强,王钇心,刘双龙,等. 一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法. CN105846310B. 2019-05-14. |
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