| 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置和方法 | |
| 房丰洲; 朱朋哲; 万宇 | |
| 2016-04-20 | |
| 著作权人 | 天津大学 |
| 专利号 | CN103411545B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置和方法 |
| 英文摘要 | 本发明属于多轴系统检测领域，为提供一种可实现高精度、低成本，能综合测量多轴系统几何误差的测量新方法。将光学自由曲面作为多轴系统误差测量标准件，通过相应的误差建模方法规划多轴系统误差测量路径，利用多维位移测量系统对光学自由曲面的探测，实现多轴系统几何误差的综合测量，进而用于对多轴系统几何误差的补偿。为达到上述目的，本发明采用的技术方案是，基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置和方法，包括：半导体激光器、准直缩束系统、四象限光电二极管QPD、成像透镜、1/4波片、光学自由曲面标准件、偏振分光棱镜PBS、图像探测器CCD、另一成像透镜及数据采集和处理平台。本发明主要应用于多轴系统检测。 |
| 公开日期 | 2016-04-20 |
| 申请日期 | 2013-08-13 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47000]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 天津大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 房丰洲,朱朋哲,万宇. 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置和方法. CN103411545B. 2016-04-20. |
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