一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件

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	一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件
	武登山; 张兆会; 李立波; 贾昕胤; 王锋; 李思远
	2019-04-30
著作权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号	CN201910363561.0
国家	中国
文献子类	发明专利
产权排序	1
英文摘要	为了解决传统机械刃边拼接狭缝其狭缝长度短、宽度大，难以加工较长的高精密狭缝，以及激光刻蚀成型一体化狭缝其狭缝平面度和直线度难以满足要求的问题，本发明提供一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件。其中方法包括以下步骤：1)制作多狭缝刻蚀基材；2)装配多狭缝刻蚀基材；具体为2.1)在狭缝上盖板上和狭缝下盖板上开设有通槽；在所述狭缝上盖板或者狭缝下盖板上设置修切垫；2.2)将多狭缝刻蚀基材设置在狭缝上盖板和狭缝下盖板之间；在多狭缝刻蚀基材与狭缝上盖板和狭缝下盖板之间分别设置非线性弹性垫圈；2.3)通过修研狭缝上盖板和狭缝下盖板之间修切垫的高度，使多狭缝刻蚀基材的直线度和平面度满足要求；3)固定多狭缝刻蚀基材。
公开日期	2019-07-26
申请日期	2019-04-30
语种	中文
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43208]
专题	西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心
推荐引用方式 GB/T 7714	武登山,张兆会,李立波,等. 一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件. CN201910363561.0. 2019-04-30.