ZnCl_2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长

	ZnCl_2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长
	张家奇,杨秋旻,赵杰,崔利杰,刘超,曾一平
刊名	微电子学
	2012
卷号	42 期号:6 页码:881-884
学科主题	半导体材料
收录类别	CSCD
语种	中文
公开日期	2013-05-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24100]
专题	半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	张家奇,杨秋旻,赵杰,崔利杰,刘超,曾一平. ZnCl_2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长[J]. 微电子学,2012,42(6):881-884.
APA	张家奇,杨秋旻,赵杰,崔利杰,刘超,曾一平.(2012).ZnCl_2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长.微电子学,42(6),881-884.
MLA	张家奇,杨秋旻,赵杰,崔利杰,刘超,曾一平."ZnCl_2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长".微电子学 42.6(2012):881-884.