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题名	Si基磁控溅射Ga/_2O/_3//Al膜制备GaN一维纳米结构的研究
作者	胡丽君
导师	庄惠照
关键词	GaN 射频磁控溅射 氨化 缓冲层 纳米线
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6403854
专题	山东师范大学
作者单位	山东师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	胡丽君. Si基磁控溅射Ga/_2O/_3//Al膜制备GaN一维纳米结构的研究[D].

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