Protection effect of a SiO2 layer in Al0.85Ga 0.15As wet oxidation

	Protection effect of a SiO2 layer in Al0.85Ga 0.15As wet oxidation
	Zhou, Wenfei ; Ye, Xiaoling ; Xu, Bo ; Zhang, Shizhu ; Wang, Zhanguo
刊名	journal of semiconductors
	2012
卷号	33 期号:10 页码:102002
学科主题	半导体材料
收录类别	EI
语种	英语
公开日期	2013-04-19
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23894]
专题	半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhou, Wenfei,Ye, Xiaoling,Xu, Bo,et al. Protection effect of a SiO2 layer in Al0.85Ga 0.15As wet oxidation[J]. journal of semiconductors,2012,33(10):102002.
APA	Zhou, Wenfei,Ye, Xiaoling,Xu, Bo,Zhang, Shizhu,&Wang, Zhanguo.(2012).Protection effect of a SiO2 layer in Al0.85Ga 0.15As wet oxidation.journal of semiconductors,33(10),102002.
MLA	Zhou, Wenfei,et al."Protection effect of a SiO2 layer in Al0.85Ga 0.15As wet oxidation".journal of semiconductors 33.10(2012):102002.