QQ客服 官方微博 反馈留言

	一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法
	唐衍哲 ; 王文辉 ; 李铁 ; 王跃林
	2001
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	硅材料对于近红外波长的“透明性”以及硅材料与半导体激光器、光探测器之间良好的热光匹配特性,使得硅基平面光波导器件不仅具有低损耗、低双折射现象,而且在混合集成方面具有其它材料无可替代的优势。本方法利用各向异性腐蚀在绝缘层上的硅材料上制作镜面全反射型弯曲波导。利用硅的各向异性腐蚀特性,通过氧化、光刻、腐蚀等简单的微机械加工技术,制作高质量的全反射镜,并和用绝缘层上的硅材料制作出的单模脊形波导一起构成大角度、小尺寸、损耗低的弯曲波导。此结构可以广泛地应用于光有源、无源器件的制作中,它将使光器件尺寸成数倍甚至数量
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113641]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	唐衍哲,王文辉,李铁,等. 一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法. 鉴定:无. 2001.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。