| 利用(100)硅片制作的微机械光开关 | |
| 李铁 | |
| 2003 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该专利涉及一种利用(100)硅片制作的微机械光开关,属于光电子器件领域。它是由框架、微镜、质量块、悬臂梁、V形槽和电极等六部分构成。该专利提供的微机械光开关可以制成1×2、2×2……N×N等多种光开关阵列。该专利具有工艺简单,易于操作,控制方便,重复程度高等特点,易于操作,控制方便,重复程度高等特点,在全光网络通信和光纤到户中发挥重要作用。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113569]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李铁. 利用(100)硅片制作的微机械光开关. 鉴定:无. 2003. |
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