微光机电系统国内外研究进展

	微光机电系统国内外研究进展
	梁静秋
刊名	光机电信息
	2000-08-15
期号	08 页码:1-5
关键词	微光机电系统:9087 涡轮喷气发动机:2324 国内外研究:1475 微型机电系统:1430 微机器人:1346 微结构:1222 微加速度计:1182 微制造技术:1089 微驱动器:986 微机械:962
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30791]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋. 微光机电系统国内外研究进展[J]. 光机电信息,2000(08):1-5.
APA	梁静秋.(2000).微光机电系统国内外研究进展.光机电信息(08),1-5.
MLA	梁静秋."微光机电系统国内外研究进展".光机电信息 .08(2000):1-5.