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	一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法
	唐安江; 张丹辉; 韦德举; 黄崇; 张妙鹤; 蒋东海; 魏娴; 唐石云; 仇伟; 吴承燕
	2018
关键词	浓硫酸 吸收 四氟化硅气体 吸收液 杂质磷 原子发射光谱法 耦合等离子体 测试样品 吸收量 吸收瓶 沸石 配制 盛装 净化 分析
公开日期	2018
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申请日期	2018
专利申请号	CN201810012631.3
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5838688
专题	贵州理工学院
作者单位	[1]贵州理工学院
推荐引用方式 GB/T 7714	唐安江,张丹辉,韦德举,等. 一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法. 2018-01-01.

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