| 一种MEMS微结构谐振频率的测试技术 | |
| 王晓东; 王涛; 李楠; 刘梦伟; 崔岩; 王立鼎 | |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 19页码:1538-1541 |
| 关键词 | MEMS测试技术 MEMS动态特性 MEMS微结构 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5692436 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓东,王涛,李楠,等. 一种MEMS微结构谐振频率的测试技术[J]. 传感技术学报,2006,19:1538-1541. |
| APA | 王晓东,王涛,李楠,刘梦伟,崔岩,&王立鼎.(2006).一种MEMS微结构谐振频率的测试技术.传感技术学报,19,1538-1541. |
| MLA | 王晓东,et al."一种MEMS微结构谐振频率的测试技术".传感技术学报 19(2006):1538-1541. |
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