CORC  > 大连理工大学
NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟
朱亚民; 张军; 崔云先; 孙奉道
刊名仪表技术与传感器
2008
卷号1页码:15-17
关键词薄膜热电偶 磁控溅射 瞬态切削温度 有限元
ISSN号1002-1841
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5600294
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连,116085
推荐引用方式
GB/T 7714
朱亚民,张军,崔云先,等. NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟[J]. 仪表技术与传感器,2008,1:15-17.
APA 朱亚民,张军,崔云先,&孙奉道.(2008).NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟.仪表技术与传感器,1,15-17.
MLA 朱亚民,et al."NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟".仪表技术与传感器 1(2008):15-17.
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