| 题名 | N-O双频容性耦合等离子体的流体力学模拟 |
| 作者 | 尤左伟 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 关键词 | 流体力学 等离子体增强 化学气相沉积 薄膜沉积 力学模型 放电效率 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5337990 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尤左伟. N-O双频容性耦合等离子体的流体力学模拟[D]. 大连理工大学. 2009. |
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