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	一种多晶硅片及其表面蚯蚓状腐蚀坑形成的方法
	乔芬[1]; 梁启超[2]; 杨健[3]
	2018
权利人	江苏大学
公开日期	2018-09-14
URL标识	查看原文
申请日期	2018-03-15
专利申请号	CN201810213335.X
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5328347
专题	江苏大学
作者单位	江苏大学
推荐引用方式 GB/T 7714	乔芬[1],梁启超[2],杨健[3]. 一种多晶硅片及其表面蚯蚓状腐蚀坑形成的方法. 2018-01-01.

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