一种微型硅光电二极管
崔峰敏
2016-07-06
著作权人傲迪特半导体(南京)有限公司
专利号CN205376553U
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种微型硅光电二极管
英文摘要一种微型硅光电二极管,硅晶片尺寸为0.5mm×0.3mm,有源区面积0.43mm×0.23mm,厚度为280±10μm,低掺杂的N型高阻硅衬底上设有高掺杂P型硅层,形成PN结,低掺杂的N型高阻硅衬底外环为高掺杂N型硅环,所述N型高阻硅衬底、高掺杂P型硅层和高掺杂N型硅环上有氮化硅钝化薄膜,所述高掺杂P型硅层和高掺杂N型硅环间的低掺杂N型高阻硅衬底向外凸起形成低掺杂外延硅层,所述氮化硅钝化薄膜上有圆角正方形状接触孔,所述接触孔内沉积金属Al作为阳极,N型高阻硅衬底的背面沉积金属Au作为阴极。本实用新型尺寸小,灵敏度高,可应用于光通信、激光二极管功率控制等领域。
公开日期2016-07-06
申请日期2015-12-01
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42596]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位傲迪特半导体(南京)有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
崔峰敏. 一种微型硅光电二极管. CN205376553U. 2016-07-06.
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