| 一种表面发射半导体激光相干列阵器件及其制备方法 | |
| 贾鹏; 陈泳屹; 秦莉; 张建伟; 宁永强; 王立军 | |
| 2019-10-01 | |
| 著作权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 专利号 | CN107872006B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种表面发射半导体激光相干列阵器件及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例公开了一种表面发射半导体激光相干列阵器件及其制备方法。器件包括设置在外延片P面的波导结构和外延片结构。波导结构包括光源模块、光束分离波导、增益列阵、光栅结构；光束分离波导将光源模块出射的单模单频激光光束进行分束；增益列阵将各子光束进行增益放大，光栅结构将增益放大的子光束衍射为沿相互垂直方向传播的二阶衍射光和一阶衍射光，二阶衍射光沿着传播方向振荡增益，一阶衍射光沿传播方向从出光孔激射；从外延片的N型衬底向上依次包括N型包层、N型光波导层、有源区、P型光波导层、P型包层；出光孔和N面金属电极设置在N型衬底的下表面，P面金属电极设置在P型包层上表面。本申请实现了高功率、高相干性激光输出。 |
| 公开日期 | 2019-10-01 |
| 申请日期 | 2017-12-27 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38942]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾鹏,陈泳屹,秦莉,等. 一种表面发射半导体激光相干列阵器件及其制备方法. CN107872006B. 2019-10-01. |
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