| 一种大幅面透明曲面零件减反功能微纳结构加工方法及系统 | |
| 李明; 李珣 | |
| 2019-07-04 | |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 专利号 | CN201910600292.5 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种大幅面透明曲面零件微纳结构加工方法及系统，解决了大幅面曲面零件表面减反微纳结构精度低、一致性差的问题，加工时，首先建立工艺数据库，确认激光功率对材料基底造成热效应损伤激光损伤阈值W0；其次依次完成测量激光加工系统的后工作距离L1、工件定位安装、透射式精准对焦、设定激光各激光加工参量，进行透射式加工。在加工过程中，可以实现激光自动对焦并实时在线检测加工过程中激光功率的浮动，还可实时监测加工光束的指向偏离，实时校正加工光束指向。对于非球透明介质内表面需要进行功能微纳结构制造时，本发明加工方式与传统从内表面直接加工的方式相比较，具有简易、精度高、效率高等优点。 |
| 公开日期 | 2019-11-12 |
| 申请日期 | 2019-07-04 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32083]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李明,李珣. 一种大幅面透明曲面零件减反功能微纳结构加工方法及系统. CN201910600292.5. 2019-07-04. |
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