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题名	提高复合电沉积金刚石切割片性能的试验研究
作者	刘金龙
答辩日期	2009
授予单位	大连理工大学
导师	高航
关键词	集成电路 芯片制造 硅晶切割 电解加工
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
出处	大连理工大学
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5291461
专题	大连理工大学
作者单位	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘金龙. 提高复合电沉积金刚石切割片性能的试验研究[D]. 大连理工大学. 2009.

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