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题名	基于磁控溅射技术的硅薄膜晶化机制研究
作者	李春月
答辩日期	2012
授予单位	西安理工大学
关键词	磁控溅射技术 硅薄膜 晶化过程 晶化率
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5015413
专题	西安理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李春月. 基于磁控溅射技术的硅薄膜晶化机制研究[D]. 西安理工大学. 2012.

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