| Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备 | |
| 宁耀斌; 蒲红斌; 陈春兰; 李虹; 李留臣 | |
| 2016 | |
| 卷号 | 45页码:629-632,638 |
| 关键词 | β-FeSi2薄膜 6H-SiC衬底 Si衬底 磁控溅射 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4984529 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宁耀斌,蒲红斌,陈春兰,等. Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备[J],2016,45:629-632,638. |
| APA | 宁耀斌,蒲红斌,陈春兰,李虹,&李留臣.(2016).Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备.,45,629-632,638. |
| MLA | 宁耀斌,et al."Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备".45(2016):629-632,638. |
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