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	一种基于有限元数值模拟的硅单晶生长温度控制方法
	刘丁; 张妮; 万银
	2018
权利人	西安理工大学
公开日期	2018-11-06
URL标识	查看原文
申请日期	2018-05-31
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4971497
专题	西安理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘丁,张妮,万银. 一种基于有限元数值模拟的硅单晶生长温度控制方法. 2018-01-01.

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